干式螺杆真空泵的应用非常广泛,主要有以下几个方面,大家只有清楚的了解该产品的应用,才会发现它的优点、它的价值,以及它能为您带来的价值。
1、多晶硅制备过程中的低压化学气相沉积;
2、用作普通无油清洗真空系统的前级泵,防止油污染;
3、半导体蚀刻工艺。在这些制造过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒;
4、
干式螺杆真空泵在化学工业,医药工业,食品工业的蒸馏,干燥,消泡,包装,防止有机溶剂引起的污染,适合与干式螺杆真空泵配套使用;
5、除半导体工艺外,部分工艺过程产生的颗粒,不希望颗粒与泵油混合,希望颗粒从泵内排出,用一定类型的干式机械真空泵达到要求。
本文章介绍的【干式螺杆真空泵的应用范围】,大家在后期选购的时候,也要多多对比,重视产品质量,权衡价格,定能够挑选到满意的干式螺杆真空泵。
2024.8.7 ZG